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石墨舟的使用和制造情況介紹

石墨舟推舟系統采用軟著陸的方式，即將石墨舟放到反應管內部后，石墨舟推舟機構將退出，自動門關上。載片舟是經特殊設計，在X軸、Y軸、Z軸三個方向可微調，再經精加工而成。它直接影響到電場的分布、等離子的產生、氣流的走向、膜的品質。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結構有關，所以推舟系統是本設備的核心部件。

　　使用像擴散爐管一樣的石英管作為沉積腔室，使用電阻爐作為加熱體，將一個可以放置多片硅片的石墨舟插進石英管中進行沉積。

石墨舟及制造方法，在石墨舟毛坯料中浸漬有樹脂，石墨舟毛坯經過固化處理、加工、高溫處理使樹脂充分炭化，在石墨舟表面形成一層薄膜，包括以下步驟：先把石墨原材料放置在真空爐內高溫純化、形成石墨舟毛坯料；石墨舟毛坯料放入調配的樹脂中浸漬；石墨舟毛坯料固化處理形成坯體；固化后的坯體加工成成品；加工完的成品高溫處理，樹脂炭化，在成品表面形成薄膜；能夠在石墨舟片表面形成一層均勻的抗氧化薄膜使用壽命長，降低了使用和維護成本，具有良好的經濟效益和社會效益。